品牌海展 | 型号SDT-200 |
产品别名揭膜机 | 用途减薄后揭膜 |
适用行业半导体 | 产品用途晶圆减薄后撕除保护膜 |
规格8/12寸 | 是否跨境货源否 |
半自动晶圆减薄撕膜机
(型号:sdt-100)
1. 主要说明
1.1晶圆尺寸: 直径:4〞, 5〞,6〞,8〞12〞(客户指定)
厚度:150~750微米
(可升级处理超薄晶圆)
1.2晶圆类型: 硅,砷化镓
单边,双边或者v型缺口
1.3撕膜胶带: 类型:移除型胶带
宽度:38~160毫米
长度:100米
1.4撕膜角度: ﹤45°
1.5撕膜温度: 室温至150℃可调
1.6适用胶膜类型: 蓝膜或者uv膜
1.7输入&输出: 手动放取晶圆
1.8防静电控制: 特氟纶面晶圆台盘/胶膜传送滚轮和防静电贴膜滚轮
撕膜和胶膜滚轴处吹入防静电风
1.9晶圆定位: 通用标记刻线
1.10控制单元: 基于plc的控制,带5英寸的触摸屏
1.11电力供应: 单相交流220v, 10a
1.12压缩空气: 5公斤清洁干燥压缩空气,流量每分钟2立方英尺
1.13尺寸: 500毫米(宽)*800毫米(深)*500毫米(高)
1.14净重: 90公斤
机器性能:2.1晶圆收益: ≧99.9%
2.2产量: ≧80片/小时
2.3转换品种时间 ≦5分钟
文件和手册3.1操作及维修手册 1套
3.2操作及维修手册光盘 1张
上海海展自动化设备有限公司
李先生
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